屹唐半导体北京工厂首台产品下线

　　（记者 王子霖）10月16日，北京屹唐半导体科技有限公司北京工厂首台产品下线仪式在北京亦庄经济技术开发区举行。在仪式上，北京工厂首批下线的干法去胶、干式刻蚀和快速热处理设备分别与客户进行了机台交付仪式。值得注意的是，屹唐半导体是中国资本成功收购国际半导体设备公司的第一家，本次产品下线意义重大。

　　发布会上，屹唐半导体向包括中芯国际、长江存储在内的客户代表交付了首批产品。集成电路产业国家集成电路产业基金总裁丁文武表示，产业基金对屹唐半导体一直保持着高度关注，屹唐半导体将在未来成为产业基金的合作支持对象之一。他透露，双方已进行过多次接触。

　　屹唐半导体主要为全球12英寸晶圆厂客户提供干法去胶（Dry Strip）、干法刻蚀（Dry Etch）、快速热处理（RTP）、毫秒级快速热处理（MSA）等设备及应用方案，拥有完整的知识产权。其中，干法去胶、快速热处理以及毫秒级快速热处理（MSA）设备在各自细分领域都位于世界前三，其主要客户涵盖所有位列全球前十的芯片制造厂商。

　　记者从现场了解到，屹唐半导体的等离子体干法去胶设备具有行业标杆级别的等离子体干法去胶技术，采用独特的远程电感耦合等离子体（ICP）源和双晶源反应腔设计，具备生产效率高、颗粒污染低、综合持有成本低等优势，在全球客户端运营约1万台。

　　据介绍，屹唐半导体的研发测试中心具备国际先进水平的工艺实验、检测、研发环境；具备包括客户培训体系、现场技术支持、备品备件管理、客户投诉体系等在内的架构完备、响应快速的客户服务体系，以客户为中心，为客户提供本地化、客户化的便捷服务基础工艺开发条件，能按照客户需求完成工艺验证。

　　资料显示，屹唐半导体是一家注册在北京亦庄经济技术开发区的半导体设备企业。2016年5月，亦庄国投通过屹唐半导体以约3亿美元的总价，成功收购了总部位于美国硅谷的半导体设备公司Mattson Technology。据介绍，Mattson Technology Inc. （简称 “Mattson”）成立于1988年，总部位于美国加州费力蒙特，是世界着名半导体制造设备供应商之一。并购完成后，公司业务迅速回升，2017年公司营收和利润均创历史新高。