芯源微：唯一位于涂胶和开发设备的制造商

　　 中银证券指出，国内集成电路工艺设备企业中和芯源微电子是唯一位于涂胶和开发设备的制造商。国内外涂胶及开发设备均为TEL所垄断，国产化尚处于起步阶段。核心源的涂胶和显影设备已进入多条晶圆生产线。从国产化率和国内晶圆厂的建设进度来看，芯源微的表现有望在未来3-5年内高速增长。基于a股半导体及元件概念估值，这是首次给出买入评级。