半导体设备行业：晶圆厂招投标正常进行 供应商持续获得订单

　　根据中国国际招标网，本土晶圆厂的设备招投标随着新冠疫情的全面好转而重启，华虹无锡项目、上海华力二期的设备招投标工作自3月启动，中微半导体、北方华创、华海清科等获得多个设备订单，引领设备国产化，继续强烈推荐半导体设备板块。

　　一、本土晶圆厂扩产恢复正常

　　1、华力二期：3月份以来密集招投标刻蚀、CVD、PVD、离子注入机等工艺设备。截至今日，华力二期累计释放620台工艺设备，其中国产设备52台，国产化率8%，剔除量测设备的国产化率为13%；2、华虹无锡：陆续公布招投标CMP、光刻机、Etch、涂胶显影、Clean、热处理等工艺设备。华虹无锡累计释放418台工艺设备，其中国产设备40台，国产化率10%，剔除量测设备的国产化率为14%；3、长江存储：宣布128层QLC3DNAND闪存研发成功，并已在多家控制器厂商SSD等终端存储产品上通过验证，相比64层对设备的需求将大幅增加。长江存储累计释放1,347台工艺设备，其中国产设备183台，国产化率14%，剔除量测设备的国产化率为17%；4、上海积塔：3月30日8寸线正式投片，12寸线即将启动。截至目前，上海积塔累计释放195台工艺设备，其中国产设备27台，国产化率14%。

　　二、一线国产设备供应商持续获得订单

　　1、中微半导体：介质刻蚀市占率普遍超20%。中微近期在上海华力二期项目获得2台铜互连沟槽等离子刻蚀机台订单，累计获得11台刻蚀设备订单，在该产线的刻蚀设备市占率达到17%，在该产线的介质刻蚀设备中的市占率36%。在华虹半导体(无锡)项目获得3台刻蚀设备订单，包括1台钝化膜等离子体刻蚀机和2台氧化膜等离子刻蚀机，累计获得10台刻蚀设备订单，在该产线的刻蚀设备市占率达到21%，在该产线的介质刻蚀设备中的市占率40%。

　　2、北方华创：硅基刻蚀市占率超20%。北方华创近期在华虹半导体(无锡)项目获得2台PVD，2台STI刻蚀设备订单，以及3月底获得3台合金退火炉，累计获得3台PVD、4台刻蚀设备、7台热处理订单，在该产线的对应的PVD、硅基刻蚀、热处理设备中的市占率依次是19%、27%、8%。

　　3、华海清科：优质的CMP国产设备供应商。近期在华虹半导体(无锡)项目获得3台CMP，累计获得5台CMP订单，在该产线的CMP的市占率是38%。此外，华海清科还中标上海新昇1台CMP设备。

　　三、重点推荐

　　继续推荐北方华创、精测电子、万业企业、晶盛机电、长川科技，关注中微公司、盛美、至纯科技、【芯源微(688037)、股吧】、华峰测控等。

　　评级面临的主要风险。客户项目进度低于预期，新产品工艺验证时间长且风险高。