高端半导体设备制造商华海清科今日登陆科创板

　　6月8日，华海清科股份有限公司正式登陆科创板，股票简称华海清科，股票代码688120。公司首次公开发行股份数量为2666.67万股，发行价格136.66元。募集资金将投资高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目、高端半导体装备研发项目、晶圆再生项目和补充流动资金。

　　今年以来，天津半导体产业稳存量、做增量、提质量，为稳住经济大盘提供积极助力。根据官方统计，今年前4个月，天津新能源产业链规模同比增长12.9%。华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备。CMP是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺。公司所生产CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线，产品总体技术性能已达到国内领先水平。

　　华海清科表示，公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP设备并实现量产销售，是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商。

　　招股书显示，公司自成立以来始终以集成电路产业需求为导向，坚持自主创新的发展路线，在基础理论、关键技术、整机装备、成套工艺等贯穿式研究成果基础上，对标国际发展趋势，以更先进制程、更高产能、更低成本为重要突破方向。公司核心研发团队先后承担、联合承担了两项“国家科技重大专项（02专项）”及三项国家级重大项目/课题，针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、大数据分析及智能化控制等CMP设备核心关键技术取得了有效突破和系统布局。

　　公司研制的CMP设备产品全面覆盖集成电路制造过程中的非金属介质CMP、金属薄膜CMP、硅CMP等抛光工艺并取得量产应用，高端CMP设备的工艺技术水平已在14nm制程验证中，形成了硬件+技术服务的全方位体系。截至2021年12月31日，公司拥有国内外授权专利209项，其中发明专利114项、实用新型专利95项，拥有软件着作权7项。

　　2019年、2020年、2021年公司分别实现营业收入2.11亿元、3.86亿元、8.05亿元，归属于母公司所有者的净利润-1.5亿元、9778万元、1.98亿元。公司预计2022年1-6月实现营业收入5.5亿元-7亿元，同比增长87.32%-138.41%；归属于母公司股东的净利润1.4亿元-1.8亿元，同比增长98.46%-155.17%。

　　华海清科表示，未来3-5年，公司将坚持以集成电路产业需求为导向，以自主研发与产业化应用为关键突破口，加强与上下游核心企业的紧密合作，形成集成电路关键制造装备、耗材及技术服务、晶圆再生代工业务协同发展的技术布局与市场定位，立足国内、面向全球，努力提升在全球集成电路装备领域的市场份额和影响力，发展成为国际知名的集成电路高端装备及技术服务供应商。

　　来源：·中证网 作者：陆静