精测电子获14家机构调研：上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域 预计2021年在半导体的部分产品线实现扭亏（附调研问答）

　　精测电子（300567）7月13日发布投资者关系活动记录表，公司于2021年7月13日接受14家机构单位调研，机构类型为保险公司、基金公司、证券公司、阳光私募机构。

　　投资者关系活动主要内容介绍：

　　1.问：简单介绍下上海精测半导体技术有限公司(以下简称“上海精测”)在2021年7月13日设备出机的相关情况。

　　答：本次出机两款产品为独立式光学关键尺寸量测设备(OCD)及电子束缺陷复查设备(Review-SEM)，客户为中芯国际。OCD设备除具有全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查(ADI)、刻蚀后检查(AEI)等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度(SWA)、高度/深度等关键尺寸(CD)特征或整体形貌测量，具有高速、准确和非破坏性等特点，是半导体前道检测的关键设备之一；Review-SEM是先进的全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备，对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类。

　　2.问：上海精测主要产品有哪些？

　　答：公司子公司上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。

　　上海精测膜厚产品(含独立式膜厚设备)已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已取得订单并已实现交付，半导体电子束检测设备eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

　　3.问：半导体版块，预计2021年能扭亏为盈吗？

　　答：半导体研发投入巨大，验证周期长，公司预计2021年在半导体的部分产品线实现扭亏，但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。

　　4.问：请问公司的半导体前道量测检测设备，在国内的竞争力情况。

　　答：目前，中国半导体检测及量测专用设备行业仍然被国外龙头企业占据主导地位，市场集中度高，国内企业仍然处于弱势地位。现阶段，公司的竞争对手主要有科磊半导体[KLAC]、应用材料[AMAT]等;

　　接待过程中，公司与投资者进行了充分的交流与沟通，并严格按照公司《信息披露管理制度》等规定，保证信息披露的真实、准确、完整、及时、公平。

　　武汉精测电子集团股份有限公司主营业务为显示、半导体、新能源检测系统的研发、生产与销售。公司主营产品包括模组检测系统、面板检测系统、OLED检测系统、AOI光学检测系统、TouchPanel检测系统和平板显示自动化设备。经过多年的发展，公司中后道制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平，技术优势明显，为公司的快速发展奠定了基础。

　　调研参与机构详情如下：