至纯科技：半导体清洗设备新星

　　至纯科技（603690）股成立于2000年，主要业务是为高端先进制造业企业特别是半导体晶圆厂，提供高纯工艺系统的解决方案。2017年开始，利用已有的技术优势，重点发展半导体制造中的清洗设备，正式进入半导体装备行业。2018年收购波汇科技 100%股权，进入光传感器领域。2019年公司完成对珐成制药100%的股权收购，进入生物制药领域。

　　公司是国内高纯工艺系统的龙头企业，主要负责气体类、液体类、化学品以及废料处理类的高纯系统设计和搭建，主要下游客户在半导体制造、LED、光伏和医药制造业。2019年，公司高纯工艺系统收入6.37亿元，同比下滑-5.51%，占总收入比例65%。该业务规模下滑的原因主要是公司将大量资源投入湿法事业部的研发，高纯工艺系统业务近两年的策略为适当降低营收增速，提升营收质量，加大相关系统国产空白点的研发。公司2019年高纯工艺系统的新增业务订单总额达约8.8亿元。

　　借力半导体产业发展，公司实现从LED/光伏/医药到半导体的完美转型。正是由于晶圆厂的快速建设，而且高纯系统在晶圆厂中起着至关重要的作用，至纯科技充分发挥在高纯系统领域累积的技术与经验，大力拓展半导体业务，实现主营业务由LED/光伏/医药产业到半导体产业的转换。

　　公司于2015年开始启动湿法工艺装备研发，2016年成立院士工作站，2017年成立独立的半导体湿法事业部，形成了UltronB200和UltronB300的槽式湿法清洗设备和UltronS200和UltronS300的单片式湿法清洗设备产品系列，2018年度取得订单的中芯等用户的第一批装备基本完成交付，中芯已有6台装备投入使用。截至2019年末，公司已经取得近40台正式订单，已经完成近20台设备装机，包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。2019年，湿法工艺装备的新增业务订单总额达约1.7亿元。近几年大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15亿美元左右。伴随着下游需求的爆发和公司产能的提升，公司未来几年清洗设备出货量有望实现快速增长。

　　公司围绕半导体核心工艺，上市三年内完成了搭建“半导体+生物制药+光电子”三个板块的战略部署。目前公司共有五大事业部，其中高纯工艺系统(BU1)、湿法设备及晶圆再生服务(BU2)、电子材料及部件(BU3)均服务于半导体及元件概念，产品和服务恰好对应用户“新建厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”的不同生命周期。目前公司的高纯工艺系统已经切入一线客户，包括中芯国际、华虹、士兰微（600460）、长江存储、长鑫存储、海力士、三星、台积电等。而湿法清洗设备方面，公司布局了槽式及单片两大技术路线，2019年新增客户包括华虹集团、华为、中车、台湾力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成等。

　　4月29日，公司披露《非公开发行A股股票预案》，公司本次通过定增引入了诸多战略投资者，如北京集成电路基金、中芯涌久、津联海河、国改基金等。战略投资者的加入，可为公司对接高纯工艺系统及半导体湿法清洗装备业务下游客户资源。

　　中信建投（601066）表示，公司目前业务围绕下游客户“新建厂-产能爬坡-生产运营-技术升级”的不同生命周期展开，主业高纯系统受益于近两年国内半导体厂商建厂高峰，订单保持稳定增长，且利润率有望持续回升;清洗设备方面，已累计取得近40台正式订单，产品线逐渐丰富，带来长期增长;子公司波汇有望在主业之外贡献利润。预计公司2020-2022年EPS分别为0.71元、0.94元和1.20元，给予目标价42.3元，维持“增持”评级。

　　国金证券表示，目前高纯工艺系统还是公司的营收主力，预估国内高纯工艺系统需求达到770亿元，未来三年公司高纯系统业务将实现30%以上的复合增长;即使受到疫情影响，晶圆厂资本开支也并未下调，清洗设备需求相对刚性，公司作为清洗设备的核心标的，未来三年业绩具有高确定性和高成长性双重特点，2020年下半年进入湿法设备的订单确认期。预估公司在2020-2022年EPS分别为0.54元、0.90元和1.34元。采用分部估值法，给予公司未来6-12个月目标市值为123亿元，对应目标价为48元，首次覆盖给予“买入”评级。